经过这一次的开发射频电源实现了对EtherCAT、DeviceNet 和PROFIBUS DP 三种常见半导体工业通信协议的兼容。在国内本土化专业技术支持的帮助下客户仅用约25 天便完成了产品开发并成功面向市场发布。下载PDF前言射频电源在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色从等离子体的产生到刻蚀过程再到薄膜沉积技术射频电源的应用确保了半导体器件制造的精确性和高效率。EtherCAT 凭借其高效的通信性能、强大的适应性成为了半导体行业中广泛采用的工业以太网通讯技术。因此国内薄膜沉积刻蚀设备内部广泛使用EtherCAT 技术而射频电源作为薄膜沉积刻蚀设备内的一个部件需要对外兼容EtherCAT 通信协议并确保在苛刻环境下实现高质量、稳定的通信。客户面临的挑战• 多变的市场客户目前需求EtherCAT协议但不排除未来需要其他的工业通信协议例如Profibus DP, DeviceNet如何才能快速应对需求的变化。• 苛刻的工作环境射频电源的应用场景是半导体设备现场要求高稳定性一旦生产过程中出现问题损失巨大。• 有限的研发资源客户的核心竞争力是射频产品本身的开发有限的资源无法投入复杂工业通信协议的研究开发甚至协议的维护升级。HMS 解决方案经过多款产品对比客户最终选择了Anybus CompactCom M40 方案。在该方案中射频电源主控MCU 通过SPI与M40 进行通信M40 则负责处理与实现通信协议。在国内本土化专业技术支持的帮助下客户仅用约25 天便完成了产品开发并成功面向市场发布。经过这一次的开发射频电源实现了对EtherCAT、DeviceNet 和PROFIBUSDP 三种常见半导体工业通信协议的兼容。方案特点•多工业通信协支持单一的硬件设计可以轻松兼容多种工业通信协议•丰富的接口硬件接口与 CPU 之间可以通过 UART,SPI 或 8bit/16bit 并口•开发简单缩短产品上市时间•易于使用可滑入模块槽方便终端用户安装•预认证已通过相关网络组织的预认证可以帮助客户实现更快的产品级认证“Anybus 方案在半导体行业射频电源产品上有大量的应用案例 我们相信他们的产品稳定可靠在选择Anybus 方案后我们很惊讶他们产品开发也是如此简单 我们从开发到样机仅用了25 天 这个对我们开发市场非常重要。”半导体行业 EtherCAT 一致性半导体设备制造厂商除了开发顶级设备外 每个自动化设备必须符合 EtherCAT 技术集团(ETG) 的 EtherCAT 半导体规范。Anybus CompactCom 40 是一种支持 EtherCAT 半导体配置文件的通信解决方案。硬件和软件都支持ETG.5003。这大大减少了产品开发和上市时间。具体方案可参考半导体制造商看这里请收下这份EtherCAT一致性指南方案影响客户与HMS 自2022 年开始合作 采用M40 方案的射频电源产品已成功批量应用在半导体行业 产品的功率从几千瓦到几十千瓦在客户现场稳定运行 并兼容了半导体行业常规协议EtherCAT, DeviceNet, PROFIBUS DP。M40 成功助力客户射频电源在半导体行业建立良好口碑 目前年用量达上千。